나노 임프린트 리소그래피 장비 - 테크42

나노 임프린트 리소그래피 장비

캐논, EUV 대체 최첨단 반도체 장비 출시 파장

인사이트42 테크놀로지

이재구 기자

2023.10.25

고급 카메라로 유명한 일본 캐논이 5나노미터(1nm=10억분의 1m) 공정 노드 반도체까지 생산할 수 있다는 나노 임프린트 리소그래피(NIL) 장비를 출시했다고 발표했다. 캐논은 이 장비 기술을 개선해 최종적으로 2nm 반도체를 생산할 수 있다고 주장했다. NIL 기술은 복잡한 광학 장치나 EUV(극자외선) 응용 프로그램에 사용되는 거울에 의존하지 않아 비교적 단순하다는 이점을 갖는다고 했다.